4성분계 이상의 캘코제나이드 상변화 물질 및 이를 포함하는 메모리 소자
한국과학기술연구원
10-2018-0107352
TRL 5
등록일 2025.08.10
PCM,상변화메모리,캘코제나이드
특허 도면
특허 등록번호: 102118734
특허 문서
기술 개요
본 발명은 하기 화학식 1로 표시되는, 칼코게나이드 상변화 물질 및 이를 포함하는 메모리 소자를 제공한다. [화학식 1] Ma(AxSbyTe(1-x-y))b 화학식 1에 있어서, M은 도핑 생성 에너지(ΔEf)가 -3 eV/atom 이상 0.5 eV/atom 이하인 원소이고; A는 인듐(In) 또는 게르마늄(Ge)이며; a와 b는 각각 양수로서 a + b = 1을 만족하도록 선택되고; x는 0.15 이상 0.3 이하이며; y는 0.05 이상 0.25 이하이다.
주요 특징
본 발명은 4성분계 이상의 캘코제나이드 상변화 물질 및 이를 포함하는 메모리 소자에 관한 것이다.
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
PCM
상변화메모리
캘코제나이드
발명자
전영민, 김용태, 김춘근, 김영환, 최민호, 권세현
출원일