주석 칼코게나이드 2차원 박막의 제조 방법
한국과학기술연구원
10-2018-0115949
TRL 5
등록일 2025.08.10
이차원칼코겐화합물,자기조립단분자막
특허 도면
특허 등록번호: 102111754
특허 문서
기술 개요
본 발명의 일 관점에 의하면, 기판 표면의 적어도 일부 영역에 자기조립단분자막을 형성하는 단계; 및 상기 자기조립단분자막이 형성된 영역 상에 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 형성하는 단계를 포함하는 주석 칼코게나이드 2차원 박막 형성방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 상기 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 형성하는 단계는 기판의 온도가 90℃ 내지 300℃의 범위에서 수행될 수 있다.
주요 특징
본 발명은 기판 표면 처리를 통해 증착 거동을 제어하여 저온에서 제작된 주석 칼코게나이드 2차원 박 막 및 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 2차원 박막 증착전 기판 표면의 전처리를 통해 저온에서 고 품위의 주석 칼코게나이드 2차원 박막을 제조하는 방법에 대한 것이다.
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
이차원칼코겐화합물
자기조립단분자막
발명자
김성근, 백인환, 송현철, 김상태, 백승협, 김진상, 최지원, 강종윤
출원일