나노그루브를 이용한 이차원 소재의 다결정 박막 제조 방법
한국과학기술연구원
10-2018-0149831
TRL 5
등록일 2025.08.10
나노그루브,스크레칭,이차원소재
특허 도면
특허 등록번호: 102118609
특허 문서
기술 개요
개시된 이차원 소재의 다결정 박막 제조 방법은, 성장 기판의 표면에, 제1 방향으로 연장되며 상기 제1 방향과 수직하는 제2 방향을 따라 이격된 복수의 가이드 나노그루브를 형성하는 단계 및 상기 가이드 나노그루브가 형성된 성장 기판 상에 이차원 소재의 박막을 합성하는 단계를 포함한다. 상기 이차원 소재 박막은, 제1 가이드 나노그루브로부터 성장된 제1 그레인과, 상기 제1 가이드 나노그루브로부터 성장된 제2 그레인의 가장자리가 만나서 형성된 그레인 바운더리를 갖는다.
주요 특징
본 발명은 이차원 소재의 다결정 박막 제조 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는, 나노그루브를 이용한 이차원 소재의 다결정 박막 제조 방법에 관한 것이다.
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
나노그루브
스크레칭
이차원소재
발명자
박재현, 심유민
출원일