유기 광·전자 소자의 박막형 봉지막 및 그 제조방법
플렉서블 유기물 발광다이오드 및 유기물 태양전지 등
특허 도면
특허 등록번호: 101610006
특허 문서
기술 개요
유기 광·전자 소자의 박막형 봉지막 및 그 제조방법으로서, 더욱 상세하게는 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes:OLED) 또는 유기태양전지 소자의 기판을 박막화 함에 있어서, 산소와 수분으로부터 소자와의 접촉을 차단하기 위해 실리콘 옥시나이트라이드(SiOxNy)막을 형성하고, 소자의 수명을 증대시키고자 하는 기술이다.
주요 특징
열/표면처리, 진공증착/이온플레이팅/스퍼터링
협력 희망 분야
한국과학기술연구원