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유기 광·전자 소자의 박막형 봉지막 및 그 제조방법

한국과학기술연구원 10-2014-0056210 TRL 5
등록일 2026.06.11

플렉서블 유기물 발광다이오드 및 유기물 태양전지 등

특허 도면
유기 광·전자 소자의 박막형 봉지막 및 그 제조방법 특허 도면

특허 등록번호: 101610006

특허 문서
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기술 개요

유기 광·전자 소자의 박막형 봉지막 및 그 제조방법으로서, 더욱 상세하게는 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes:OLED) 또는 유기태양전지 소자의 기판을 박막화 함에 있어서, 산소와 수분으로부터 소자와의 접촉을 차단하기 위해 실리콘 옥시나이트라이드(SiOxNy)막을 형성하고, 소자의 수명을 증대시키고자 하는 기술이다.

주요 특징

열/표면처리, 진공증착/이온플레이팅/스퍼터링

협력 희망 분야

한국과학기술연구원

기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
박막 봉지막 실리콘 옥시나이트라이드 유기전자 소자봉지
발명자
최원국 | 황도경 | 박동희 | 이범희 | 진창규 | 최동권
출원일
2014.05.12
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