무반사 나노코팅 구조 및 그 제조방법
한국과학기술연구원
10-2014-0108454
TRL 5
등록일 2026.06.11
DSLR 카메라 렌즈, 태양 전지판의 상판 거울 코팅, 고투과도가 필요한 각종 광전자 부품의 전면 유리
특허 도면
특허 등록번호: 10-1586073
특허 문서
기술 개요
무반사 나노코팅 구조 및 그 제조방법이 제공된다. 상기 무반사 나노코팅 구조는 평면 또는 곡면 기판; 상기 기 판 상에 배치되고, 상기 기판에 비해 저굴절률을 갖는 제1 산화물 나노입자를 포함하는 제1 코팅층; 상기 제1 코 팅층 상에 수직 배열된, 이산화티탄 나노입자로 이루어진 테이퍼드 나노 필러(tapered nano-pillar)를 포함하는 제2 코팅층; 및 상기 나노 필러의 단부에 배치된, 상기 기판에 비해 저굴절률을 갖는 제2 산화물 나노입자를 포 함하는 제3 코팅층;을 포함한다. 상기 무반사 나노코팅 구조는 입사광의 각도 의존성이 매우 낮은 무반사 특성 을 갖는다. 상기 무반사 나노코팅 구조는 스퍼터링 방법을 반응성 기체의 비율을 조절함으로써 기판의 곡률에 관계없이 기판의 모든 면에서 수직 배열되는 나노구조를 형성할 수 있다.
주요 특징
열/표면처리, 진공증착/이온플레이팅/스퍼터링
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
무반사 나노코팅
테이퍼드 나노필러
광학 표면구조
발명자
최원국, 박동희, 위창환, 황도경
출원일
2014.08.20