그래핀 적용 대상의 표면에 그래핀을 직접 합성하는 방법 및 상기 방법을 이용하여 형성된 그래핀을 포함하는 소자
한국과학기술연구원
10-2018-0053154
TRL 5
등록일 2026.06.11
나노소자 제조, 그래핀 기반 광소자 제조 등
특허 도면
특허 등록번호: 10-2082694
특허 문서
기술 개요
실시예들은 지지기판 상에 비금속층을 형성하는 단계; 상기 지지기판 상의 비금속층의 맞은편 공간에 상기 표면을 갖는 그래핀 적용 대상을 배치하는 단계; 및 상기 표면에 그래핀을 성장시켜 그래핀 필름을 합성하는 단계를 포함하되, 상기 그래핀의 핵 생성과 성장은 상기 표면 상에 안착되는(anchored) 탄소 원자에 의해 이루어지며, 상기 탄소 원자는 반응가스에 포함되어 반응기 내로 유입된 탄소 전구체를 상기 비금속층과의 상호작용에 의해 분해되어 상기 표면 상에 안착하는 것을 특징으로 하는, 그래핀 적용 대상의 임의의 표면에 그래핀을 직접 합성하는 방법 및 상기 방법에 의해 제조된 그래핀 필름을 포함하는 소자와 관련된다.
주요 특징
화학관련신기술, 나노기술
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
그래핀 합성
표면 성장 공정
그래핀 소자 제조
발명자
송용원, 시암우딘, 박재현
출원일
2018.05.09