테라헤르츠 트래핑 디바이스
광-바이오-의료기기
특허 도면
특허 등록번호: 10-1841683
특허 문서
기술 개요
본 발명은 테라헤르츠 트래핑 디바이스로서, 기판; 및 상기 기판 상에 배치되는 필름을 포함하되, 상기 필름은, 테라헤르츠 전가기파를 이용하여 입자의 움직임이 제어되도록, 특정 모양의 슬랏이 음각 패터닝 되거나 또는 특 정 모양의 구조물이 양각 패터닝 되는 것을 특징으로 한다.
주요 특징
전기전자기기, 기타 전기전자제품기술
협력 희망 분야
한국과학기술연구원