광학 센서, 이의 제조 방법 및 이를 활용한 유체 분석 방법
한국과학기술연구원
10-2017-0132694
TRL 5
등록일 2026.06.11
태양열 흡광판, 컬러필터, 온도센서, 가스센서, 액체 센서, 디스플레이, 암호화 기술 응용가능, 독성가스 센서 개발
특허 도면
특허 등록번호: 10-1937294
특허 문서
기술 개요
광학 센서 제조 방법은 기판 상에 반사 금속층을 형성하는 단계, 상기 반사 금속층 상에 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층상에 금속 나노 구조층의 자기 조립을 유도하는 단계 및 반응성 이온 식각 공정을 통해 상기 절연층을 선택적으로 식각하여 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의되는 복수의 공간을 형성하는 단계를 포함한다. 본 실시예에 따른 플라즈모닉스 광학 센서의 제조방법은 패터닝이 어렵고 또한 대면적화하기 어려운 나노 구조물을 저렴한 비용으로 쉽게 형성할 수 있게 해주며, 또한 반복 재현성을 가지는 플라즈모닉스 광학 센서를 제공할 수 있다.
주요 특징
전기전자기기, 기타전기전자제품기술
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
플라즈모닉 광학 센서
금속 나노 구조
유체 분석 기술
발명자
유용상, 김철기, 전영민, 이신두, 유의상, 김재헌
출원일
2017.10.12