과산화수소 검출용 센서의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 과산화수소 검출용 센서
한국과학기술연구원
10-2019-0075361
TRL 5
등록일 2026.06.11
감염시설이나 의료기관의 방역작업 후 소독된 폐쇄공간의 과산화수소 농도를 실시간으로 모니터링 할 때 사용
특허 도면
특허 등록번호: 10-2251100
특허 문서
기술 개요
본 발명은 (1) 기판을 준비하는 단계; (2) 기판 상에 탄소나노튜브 및 포르피린 나노 파이버를 포함하는 가스감지부를 형성하는 단계; 및 (3) 상기 가스감지부가 형성된 기판 상에 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 과산화수소 검출용 센서의 제조방법 및 그 방법에 의해 제조된 과산화수소 검출용 센서에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법에 따르면, 탄소나노튜브 및 포르피린 나노 파이버를 포함하는 가스감지부를 형성하는 단계를 포함함으로써 sub-ppm 수준의 과산화수소 증기(vapor)를 검출할 수 있는 반도체형 센서를 제공할 수 있다.
주요 특징
산업계측제어, 센서기술
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
과산화수소 가스 센서
탄소나노튜브 감지층
포르피린 나노 파이버
발명자
변영태, 이재성, 정다운
출원일
2019.06.25