반도체생산 공정에서 배출되는 함불소가스를 효과적으로 분해하기 위한 흡착농축시스템과 결합된 열분해복합공정 기술

본 발명은 반도체 혹은 함불소가스 생산공정에서 대량으로 배출되는 배기가스 중 희박농도로 존재하는 함불소가 스를 경제적이면서도 효율적으로 분해하기 위한 공정기술에 관한 것으로, 배가스의 함불소가스를 탄소계 물질로 충진된 흡착/탈착탑을 이용하여 함불소가스를 배가스로부터 분리하고, 다시 흡착 함불소가스의 탈착을 유도하여 고농도의 함불소가스를 생성하고, 다시 플라즈마 혹은 소각과 같은 열분해장치로 이송하여 함불소가스를 99.99 % 이상 제거한다. 본 발명기술은 함불소가스가 함유된 폐가스를 효율적으로 분해하기 위해서 폐가스의 총 부피를 최대한으로 감소 시켜, 농축된 함불소가스를 처리함으로서 열분해 과정에서 발생되는 2차 오염과 분해하는데 사용되는 전기, 메탄 가스 및 수소와 같은 에너지사용을 최소화하여 함불소가스를 효과적으로 무해화하는 방법에 대한 것이다.

수질대기, 대기오염처리

한국과학기술연구원