고효율 및 고민감도 입자 포집형 테라헤르츠 센싱 시스템
한국과학기술연구원
10-2020-0071241
TRL 5
등록일 2026.06.11
나노 입자 및 분자 포집
특허 도면
특허 등록번호: 10-2254587
특허 문서
기술 개요
고효율 및 고민감도 입자 포집형 테라헤르츠 센싱 시스템이 제공된다. 상기 입자 포집형 테라헤르츠 센싱 시스템 은 입자를 포집하는 센싱 기판; 및 상기 센싱 기판에 테라헤르츠 전자기파를 방출하여 상기 입자를 센싱하는 테 라헤르츠 센서;를 포함하되, 상기 센싱 기판은, 베이스 기판 및 상기 베이스 기판 상에 형성된 입자 포집 구조층 을 포함하고, 상기 입자 포집 구조층은 상기 테라헤르츠 전자기파를 집중시키기 위한 복수의 슬릿을 포함하며, 상기 입자 포집 구조층은 유전영동 현상을 이용하여 상기 복수의 슬릿에 입자를 포집하고, 상기 복수의 슬릿에 상기 테라헤르츠 전자기파가 집중되는 영역은 상기 유전영동 현상을 통해 상기 복수의 슬릿에 상기 입자가 포집 되는 영역과 일치한다.
주요 특징
전기전자기기, 기타 전기전자제품기술
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
테라헤르츠 센서
유전영동 포집
나노입자 검출
발명자
서민아, 유용상, 유의상, 이택진, 송현석
출원일
2020.06.12