다음극 직류전원 플라즈마 CVD 다이아몬드 성장 장치
한국과학기술연구원
10-2018-0152236
TRL 5
등록일 2026.06.11
고방열소재
특허 도면
특허 등록번호: 10-2207607
특허 문서
기술 개요
본 발명은 직류전원 플라즈마 화학증착법을 이용하여 다이아몬드를 막상으로 합성할 수 있는 다음극 직류전원 플 라즈마 CVD 다이아몬드 성장 장치에 관한 것으로서, 플라즈마를 발생시켜 기판에 다이아몬드를 성장 시킬 수 있 는 내부 공간이 형성되는 플라즈마 챔버와, 상기 기판을 지지할 수 있도록 상기 플라즈마 챔버의 상기 내부 공간 에 설치되고, 일측이 접지되어 있는 양극부 및 상기 양극부와 대향되도록 상기 플라즈마 챔버의 상부에 설치되고, 서로 독립된 직류전원 공급장치와 연결되는 복수개의 음극 장치 조합으로 형성되며, 상기 음극 장치 조합 각각의 음극 간 이격 거리 조절이 가능한 음극부를 포함할 수 있다.
주요 특징
세라믹재료, 기타요업재료
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
다이아몬드 성장
직류전원 장치
플라즈마 CVD
발명자
이재갑, 이전국
출원일
2018.11.30