기상화학증착법을 이용한 입자형 다이아몬드 단결정 제조 방법
한국과학기술연구원
10-2019-0053848
TRL 5
등록일 2026.06.11
인조 보석(~5 mm 크기) 다이아몬드, 입자 모양(~5 mm) 다이아몬드 공구
특허 도면
특허 등록번호: 10-2258334
특허 문서
기술 개요
본 발명의 일 관점에 의하면, 기상화학증착법을 이용한 입자형 다이아몬드 단결정 제조 방법이 제공된다. 본 발 명의 일 실시예에 의하면, 상기 입자형 다이아몬드 단결정 제조 방법은 시드용 단결정 다이아몬드 그릿을 다이아 몬드 합성용 챔버 내 스테이지 기판 상에 배치시키는 단계; 및 상기 챔버 내로 원료 가스를 투입하여 상기 시드 용 단결정 다이아몬드 그릿을 3차원 성장시켜 입자형 다이아몬드 단결정으로 성장시키는 단계;를 포함한다.
주요 특징
세라믹재료, 단결정
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
기상화학증착법
다이아몬드 단결정
입자형 성장공정
발명자
이재갑, 지광구
출원일
2019.05.08