테라헤르츠 검출 장치

본 발명은 샘플과 접촉하여 테라헤르츠 전자기파의 선택적 민감도를 높일 수 있고, 샘플과의 접촉 여부를 용이하게 확인할 수 있어서 샘플에 대한 보다 정확한 측정을 가능하게 하고, 샘플에 대한 국소적 냉각을 통하여 검출 민감도를 높일 수 있고 테라헤르츠 전자기파의 반사를 이용하여 측정하므로 장치 크기를 최소화할 수 있고 샘플의 크기의 제한을 최소화하는 테라헤르츠 검출 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면 테라헤르츠 전자기파를 출력하는 테라헤르츠 출력부; 샘플이 배치되고, 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 샘플로 진행시키고 상기 샘플로부터 반사되는 테라헤르츠 전자기파를 진행시키는 샘플 접촉 구조체; 및 상기 샘플로부터 상기 샘플 접촉 구조체를 통하여 반사된 테라헤르츠 전자기파를 검출하는 테라헤르츠 검출부;를 포함하되, 상기 샘플 접촉 구조체는, 기판; 상기 기판 상에 부착되고, 테라헤르츠 전자기파가 민감하게 반응하도록 그 폭과 길이 및 깊이가 결정된 개구를 포함하는 민감도 강화층; 및 상기 기판의 전면 또는 후면에 배치되고 상기 민감도 강화층과 샘플의 접촉 여부를 감지하는 접촉 감지부를 포함하는 것이고, 상기 테라헤르츠 출력부로부터 출력된 상기 테라헤르츠 전자기파는 상기 기판 및 상기 개구를 통하여 상기 샘플로 진행하고, 상기 샘플로부터 반사되는 상기 테라헤르츠 전자기파는 상기 개구 및 상기 기판을 통하여 상기 테라헤르츠 검출부로 진행하는 것인 테라헤르츠 검출 장치가 제공된다.

전기전자. 기타 전기전자제품기술

한국과학기술연구원