반도체 물질의 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템
한국과학기술연구원
10-2018-0033366
TRL 5
등록일 2026.06.12
초고속 광소자 개발에 적용 가능
특허 도면
특허 등록번호: 10-2098284
특허 문서
기술 개요
본 발명은 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템으로서, 전기광학적 특성이 측정되는 반도체 기판; 상기 반도체 기판 상에 배치되어, 특정 주파수의 전자기파를 증폭시키고 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까 지 상기 전자기파를 집속시키는 센싱 소자; 및 상기 센싱 소자에 의하여 증폭 및 집속된 전자기파를 이용하여, 상기 반도체 기판의 표면으로부터 특정 집속 깊이까지에서의 전기광학적 특성을 측정하는 전기광학적 측정 장치 를 포함한다.
주요 특징
전기전자, 기타전기전자제품기술
협력 희망 분야
한국과학기술연구원
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
비접촉 반도체 측정기술
전기광학 특성분석 시스템
전자기파 집속 센싱소자
발명자
서민아, 최근창, 김대식
출원일
2018.03.22