이산화규소-카본 다공질 복합체와 이를 이용한 고순도 과립 β-상 탄화규소 분말의 제조방법
한국과학기술연구원
10-2015-0132850
TRL 5
등록일 2026.08.11
전력 반도체용 SiC 단결정 성장용 원료, 반도체/LED 제조공정용 고순도 SiC 치구 제조용 원료
특허 도면
특허 등록번호: 10-1678622
특허 문서
기술 개요
본 발명은 이산화규소-카본 다공질 복합체와 이를 이용한 고순도 과립 β-상 탄화규소 분말의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 액상의 규소화합물과 탄소화합물을 원료로 사용하여 졸-젤 공정에 의해 이산화규소 망목구조 내에 탄소화합물이 균질하게 분산된 젤을 제조한 후, 상기 탄소화합물을 고상으로 고착시킨 다음 건조 및 열처리하여 비표면적이 높은 이산화규소-카본 다공질 복합체를 제조하고, 제조된 이산화규소-카본 다공질 복합체를 두 단계로 이루어지는 열처리 공정으로 카본과 금속규소의 직접 반응 및 열 탄소 환원 반응을 진행시에 승온 속도와 열처리 온도의 조절을 통해 평균입도, 입도 분포도 및 순도를 조절하게 되는 고순도의 과립 β-상 탄화규소 분말의 제조방법에 관한 것이다.
주요 특징
소재
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
탄화규소 분말
이산화규소 카본 복합체
열 탄소 환원
발명자
박상환, 염미래, 윤성일, 조경선
출원일
2015.09.21