박막의 전기광학적 특성 비접촉식 측정 시스템 및 방법
한국과학기술연구원
10-2017-0118866
TRL 5
등록일 2026.08.11
반도체 및 재료 공학 분야
특허 도면
특허 등록번호: 10-1920870
특허 문서
기술 개요
본 발명은 전기적 특성 비접촉식 측정 시스템으로서, 특정 주파수의 전자기파를 증폭시키는 센싱 소자; 상기 센싱 소자 상에 배치되어 전기광학적 특성이 측정되는 박막; 및 상기 센싱 소자에 의하여 증폭된 전자기파가 상기 박막을 통과하면서 발생하는 상기 박막의 전기광학적 특성을 기초로 상기 박막의 물성을 추출하는 전기광학적 특성 측정 서버를 포함한다.
주요 특징
전기전자
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
비접촉 측정
전기광학 특성
박막 물성 분석
발명자
서민아, 이상훈, 김철기, 박규환, 최종호, 김진수
출원일
2017.09.15