터널링 전계 효과 트랜지스터 바이오 센서 및 그 제조 방법
한국과학기술연구원
10-2019-0050251
TRL 5
등록일 2026.08.11
바이오 센서를 이용한 소자 제작
특허 도면
특허 등록번호: 10-2284252
특허 문서
기술 개요
본 발명은 소스 영역과 인접한 부분에 바이오 물질을 삽입할 수 있는 공간을 별도로 형성하고, 바이오 물질을 삽입하는 부분의 전계를 제어할 수 있는 별도의 게이트를 형성하여 기존의 바이오 센서가 갖는 바이오 물질 센싱의 부피 한계를 극복하는 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 터널링 전계 효과 트랜지스터 바이오 센서는 반도체 기판, 반도체 기판 상에 서로 반대 도전형으로 형성된 드레인 영역 및 소스 영역, 전압 인가시, 드레인 영역 및 소스 영역 사이에 채널 영역을 형성하게 하는 제 1 게이트, 및 소스 영역을 사이에 두고 형성된 바이오 물질 센싱 영역을 포함하는 것을 특징으로 한다.
주요 특징
전기전자
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
터널링 전계효과 트랜지스터
바이오 센서
바이오 물질 센싱
발명자
정철현
출원일
2019.04.30