분석 시스템을 설치가능한 박막 증착장치
한국과학기술연구원
10-2019-0115587
TRL 5
등록일 2026.08.11
전구체의 표면반응 실시간 모니터링
특허 도면
특허 등록번호: 10-2314076
특허 문서
기술 개요
본 개시는, 박막을 형성하기 위한 내부 공간을 제공하는 반응 챔버를 포함하며, 반응 챔버와 연결되도록 개구부가 박막 증착장치에 형성되고, 개구부는 광이 투과가능한 윈도우(window)에 의해 폐쇄되는, 박막 증착장치를 개시한다.
주요 특징
기계
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
박막 증착 장치
실시간 분석
반응 챔버
발명자
김인수, 김춘근, 이관일, 강구민, 강준현, 강진구, 이원석
출원일
2019.09.19