준 육각 나노 피라미드 구조로 텍스쳐링된 실리콘 웨이퍼 구조체와, 이를 제조하기 위한 방법, 및 이러한 실리콘 웨이퍼를 포함하는 태양전지
한국과학기술연구원
10-2019-0156929
TRL 5
등록일 2026.08.11
미지정
특허 도면
특허 등록번호: 10-2307936
특허 문서
기술 개요
본 발명은 텍스쳐링된 실리콘 웨이퍼 구조체와, 이를 제조하기 위한 방법, 및 이러한 실리콘 웨이퍼를 포함하는 태양전지에 관한 것이다. 본 발명의 구조체에 따르면, 텍스쳐링된 실리콘 웨이퍼 구조체에 있어서, 광 흡수율을 향상시키기 위하여 육각 피라미드 패턴으로 텍스쳐링된 복수의 나노구조체를 포함하되, 상기 나노구조체는 상기 실리콘 웨이퍼의 표면에 주기적으로 배열되며, 육각형의 일면을 둘러싸는 피라미드 형태의 복수의 경사면으로 이루어지되, 상기 경사면 중, 적어도 하나 이상의 경사면의 결정 방향은 003c#111003e# 결정 방향으로 형성되어 준 육각(quasi-hexagonal) 피라미드 패턴을 이룰 수 있다.
주요 특징
에너지/자원/원자력
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
실리콘 웨이퍼 텍스처링
준 육각 나노 피라미드
광 흡수 향상
발명자
김인호, 이도권, 이경석, 박종극, 이영석
출원일
2019.11.29