준 무작위 나노구조로 실리콘 웨이퍼를 텍스쳐링하는 방법과, 이 방법에 의해 제조된 실리콘 웨이퍼, 및 이러한 실리콘 웨이퍼를 포함하는 태양 전지
한국과학기술연구원
10-2019-0156930
TRL 5
등록일 2026.08.11
이퍼의 두께가 얇은 박형 또는 초박형 실리콘 태양전지
특허 도면
특허 등록번호: 10-2307791
특허 문서
기술 개요
본 발명은 실리콘 웨이퍼를 텍스쳐링하는 방법과, 이 방법에 의해 제조된 실리콘 웨이퍼, 및 이러한 실리콘 웨이퍼를 포함하는 태양 전지에 관한 것이다. 본 발명의 방법에 따르면, 실리콘 웨이퍼를 텍스쳐링하는 방법에 있어서, (a) 크기가 다른 2종 이상의 나노입자들을 상기 실리콘 웨이퍼 상에 분산시키는 단계; (b) 상기 분산된 나노입자들 사이에 노출된 상기 실리콘 웨이퍼를 에칭하는 단계; 및 (c) 상기 나노입자들을 제거하는 단계를 포함하되, 상기 나노입자들을 분산시키는 단계는 상기 크기가 다른 2종 이상의 나노입자들이 준 무작위(quasi-random)로 배열된 자기조립 단일층을 형성할 수 있다.
주요 특징
에너지/자원/원자력
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
실리콘 웨이퍼 텍스처링
준 무작위 나노구조
박형 태양전지
발명자
김인호, 이도권, 이경석, 박종극
출원일
2019.11.29