수직 구조 나노갭을 가지는 수소 센서 및 그 제조방법
한국과학기술연구원
10-2020-0011940
TRL 5
등록일 2026.08.11
정유, 화학, 철강 등의 다양한 산업 분야
특허 도면
특허 등록번호: 10-2300800
특허 문서
기술 개요
본 발명은 수소 센서 및 그 제조방법에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 센서부 하단에 나노갭이 형성되도록 하고 센서부가 수소와 반응하면 센서부와 전극이 접촉하게 되어 센서부가 기판에 저항을 받지 않고 자유롭게 팽창 및 수축이 가능하여 수소 센싱의 정확도를 향상시킬 수 있고, 정밀한 나노갭을 저가로 균일하고 재현성 있게 형성할 수 있도록 하는 수직 구조 나노갭을 가지는 수소 센서 및 그 제조방법에 대한 것이다.
주요 특징
전기전자
협력 희망 분야
매매
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
수소 센서
수직 나노갭
가스 센싱
발명자
우덕하, 박유신
출원일
2020.01.31