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박막형 적외선 흡수체 제조방법

한국과학기술연구원 10-2015-0064370 TRL 5
등록일 2026.08.11

태양열의 에너지 하베스팅

특허 도면
박막형 적외선 흡수체 제조방법 특허 도면

특허 등록번호: 10-1684383

특허 문서
기술 개요

본 발명에 따른 박막형 적외선 흡수체 제조방법은 (a) 글라스 기판을 준비하는 단계; (b) 글라스 기판 표면에 Ti를 증착하여 금속층을 형성시키는 단계; (c) 금속층 표면에 MgF2를 증착하여 유전체층을 형성시키는 단계; 및 (d) Ti와 MgF2의 증착을 복수 회 반복 수행하여, 금속층과 유전체층를 복층으로 형성하는 단계;를 포함하여, 적외선 흡수율을 95%이상으로 향상킬 수 있는 효과가 있다.

주요 특징

에너지/자원/원자력

협력 희망 분야

매매

기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
500 만원
키워드
박막 적외선 흡수체 다층 박막 증착 에너지 하베스팅
발명자
백정민, 이혜진, 최원준, 김상현
출원일
2015.05.08
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