표면 검사 장치 및 방법
한국과학기술연구원
10-2015-0127024
TRL 5
등록일 2025.08.10
디스플레이,검사,미분간섭현미경
특허 도면
특허 등록번호: 101731498
특허 문서
기술 개요
본 발명에 의한 표면 검사 장치는, 검사 대상에 대해 미분간섭 현미경 검사 또는 광학 현미경 검사를 수행하는 현미경 유닛, 상기 현미경 유닛에서 제공된 미분간섭 현미경 검사 결과와 광학 현미경 검사 결과를 비교분석하여 검사 대상에 대한 불순물 종류를 확인하는 제어 유닛 및, 상기 현미경 유닛의 편광기와 프리즘을 이동시키는 이동유닛을 포함하되, 상기 제어 유닛은 상기 현미경 유닛의 미분간섭 현미경 검사 결과 불순물이 확인되면, 상기 현미경 유닛의 편광기와 프리즘을 광경로 상에서 벗어나게 이동시켜 상기 현미경 유닛이 광학 현미경 검사를 수행하도록 한다.
주요 특징
본 발명은 디스플레이 표면을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것으로, 특히 미분 간섭 현미경 이미지와 일반 광 학 현미경 이미지를 이용하여 OLED 내부 및 표면상의 투명 불순물을 검사하는 장치 및 방법에 관한 것이다.
기술 정보
상태
라이선스 가능
TRL (기술성숙도)
Level 5
판매금액
가격협의
키워드
디스플레이
검사
미분간섭현미경
발명자
전영민, 박준, 김재헌, 서민아
출원일